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reactive ion beam中文是什么意思
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- 中文翻译
- 造句
- 活性离子束
- reactive adj. 1.反动的，倒退的，复古的。 2.反应的；反作 ...
- ion n. 【物理学】离子。 positive [negati ...
- beam n. 1.梁，栋梁，桁条；(船的)横梁。 2.船幅；(动 ...
- reactive ion beam etch 活性离子束腐蚀
- reactive ion beam etching 反应离子束刻蚀
- reactive ion beam oxidation 活性离子束氧化
- etching reactive ion 反应离子蚀刻法
- etching, reactive ion (rie) 反应离子蚀刻法
- icp reactive ion etcher 电感耦合活性离子蚀刻系统
- reactive ion etch 活性离子腐蚀
- reactive ion etch resistance 耐活性离子腐蚀性
- reactive ion etch system 活性离子腐蚀系统
- reactive ion etching 无功离子蚀刻
- reactive ion etching rie 反应离子刻蚀
- beam, ion 离子束
- ion beam 离子射柱; 离子束; 离子速
- triode reactive ion etching system 三极型反应性离子蚀刻系统
- angular spread of the ion beam 离子束的角发散
- beam focused ion 聚离子束
- beam gallium ion 镓离子光束
- beam tra mi ion 定向传输
- beam with compre ion steel 双筋梁
- beam, focused ion (fib) 聚离子束
- carbon ion beam 碳离子束
- converging ion beam 会聚离子束
- Reactive ion beam etching system ribe system
反应性离子束蚀刻系统 - The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed . etching characteristics of materials , including pr , cr , quartz , are investigated . the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy , ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3 , respectively . the etch rate has shown a square root dependence on variation versus
深入研究了光刻胶、铬薄膜、石英等光学材料离子束刻蚀特性,分别以ar气和chf3为工作气体,研究光刻胶、铬薄膜、石英等的刻蚀速率随离子能量,束流密度和离子入射角度的变化关系,得到刻蚀速率与影响因素的拟合方程,为掩模的制作工艺路线提供了实验依据和理论指导。
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Last modified time:Sat, 16 Aug 2025 00:29:56 GMT
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